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              銷售熱線0838-2900585
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              RLS系列射頻發生器

              • 采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單
              • 進線具有APFC模塊,提高輸入側功率因數,降低諧波
              • 具備CEX相位同步功能
              • 3個可編程模擬量輸出

              RLS系列射頻發生器

              適用領域

              光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。

              適用工藝

              等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。

              產品特點:

              l  機架式安裝方式

              l  采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單

              l  進線具有APFC模塊,提高輸入側功率因數,降低諧波

              l  穩定可靠的功放和直流控制模塊

              l  駐波1.5時仍能輸出額定功率

              l  具有多種通訊接口可選,通過通訊接口,可完全對電源進行操作

              l  高亮LCD顯示,操作直觀

              l  具備CEX相位同步功能

              l  3個可編程模擬量輸出

              l完善保護功能

                    


              0755-86511588-8888在線留言
              聯系電話0838-2900585
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